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光學(xué)薄膜測量儀的測量原理和優(yōu)勢特征詳細說明

更新時間:2022-06-16    點擊次數(shù):1226
   光學(xué)薄膜測量儀是一款利用光譜相干度量學(xué)工作的非接觸型膜厚測量系統(tǒng)。因其將光源、分光光度計和數(shù)據(jù)分析單元集成為一個單元,所以其配置緊湊,僅由一個主單元和光纖組成。此儀器設(shè)計緊湊,節(jié)省空間,適合安裝進用戶的系統(tǒng)中,可進行多種目標的測量。此外,該儀器為無參照物測量,因此省略了煩人的參照物測量,可長時間穩(wěn)定地進行高速、高準確度測量。
 
  光學(xué)薄膜測量儀的測量原理:
  表面輪廓:
  垂直于樣品表面的入射光,經(jīng)過表面反射后形成的反射角,會因表面輪廓的不同而產(chǎn)生變化。正是依據(jù)測量點之間反射角的變化,通過軟件重新計算并構(gòu)建了樣品表面輪廓,實現(xiàn)了全自動高精度的測量。
 
  薄膜應(yīng)力:
  對于薄膜、單層或者多層鍍膜的應(yīng)力,軟件主要依據(jù)理論,通過檢測鍍膜前后,基板曲率半徑的變化量計算得到。比如在半導(dǎo)體行業(yè)或者其他應(yīng)用領(lǐng)域,當(dāng)反射表面被加工處理后(鍍膜或者去鍍膜),操作人員能夠利用快速地對晶圓薄膜應(yīng)力進行檢測。
 

光學(xué)薄膜測量儀

 

  光學(xué)薄膜測量儀的優(yōu)勢特征:
  1、本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果自動分類功能。
 
  2、可定制USB通訊接口,便于其拓展為集成化測試系統(tǒng)中的測試模塊。
 
  3、8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。
 
  4、儀器小型化、手動/自動一體化。
 
  5、操作簡便、性能穩(wěn)定,所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入,簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。

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